廢氣處理指的是專門針對工業場所如工廠、車間產生的廢氣在對外排放前進行預處理，以達到國家廢氣對外排放的標準的工作。下面介紹幾個有效的方法：
等離子體分解法 ：
等離子體分解法采用兩個系統完成，一個是利用高頻等離子體急速加熱，利用高頻等離子體的化學作用與水蒸氣接觸進行分解的超高溫加水系統，另一個是將高溫分解的排氣急速冷到80攝氏度以下的排氣系統。利用等離子體分解氯氟烴的技術已經比較成熟，這個過程由氯氟烴和水蒸氣的供給裝置、等離子體發生裝置、反應爐、冷卻罐及排水處理裝置組成。這種方法反應速度快，效果好，是有機廢氣處理技術研究的重要方向之一。
液體吸收法 ：
通過將吸附劑和氣體相互接觸，使得氣體當中的有害分子逐步轉移到吸收劑中將有機廢氣進行分離，屬于一種電性的物理化學作用的過程。之后通過解析的方式將液態當中的有害分子進行清除，然后在進行回收，使得吸收劑得到重復回收利用的作用。從作用原理來看，可以將之分為物理方法和化學方法兩種。其中，物理方法就是利用物質相溶的原理，通常是將水作為吸收劑，并將有機廢氣當中有害的氣體予以去除，但對于部分不溶于水的有機廢氣物質，例如、三苯、等，則必須采用化學方法去除，通過溶劑與物質發生化學反應的方式予以去除。如使用化學法，運行成本高有可能會造成二次污染。
生物法 ：
生物凈化的實質是一種氧化分解過程，即附著在多孔、潮濕介質上的活性微生物以廢氣中的有機組分為能源或養分，轉化為簡單的無機物或細胞組成物質。生物過濾床、生物滴濾床和生物洗滌床是現階段的主要工藝。在其中填入泥炭、活性炭等吸附性濾料的凈化裝置是生物過濾床。其工作原理為：在過濾床中加入N、P、K等營養物質和酸堿緩沖劑，然后掛上生物膜。當廢氣進入生物過濾床后，濾料中的微生物通過捕獲廢氣中的有機物來作為自身生長的養料，然后對污染物進行降解和繁殖，這樣生物濾池的操作可以持續進行。由于使用時間長了之后，濾料會呈酸性，要定期進行維護。這種方法主要適用于氣量大、濃度低的廢氣，是廢棄處理的重要方法之一。
除頂部有噴淋裝置外，生物滴濾床與生物過濾床結構相似。不同于生物過濾床使用的具有吸附性的濾料，生物滴濾床采用樹皮、粗碎石、陶瓷、活性炭纖維等不具吸附性的物質作填料。填料的表面是由微生物形成的生物膜。生物滴濾池可以承受更大的污染負荷，在營養供給和微生物生長環境調節方面有優勢。對填料酸堿性的維護可通過加入硝酸銨等物質調節循環液的PH來實現。這種方法主要適用于降解后形成酸性物質以及負荷較高的廢氣處理。
